更新時(shí)間:2024-07-30
RTD Wafer 晶圓有線(xiàn)測溫系統儀表化晶圓(熱電偶或RTD)適用于半導體加工設備,在這些設備中,了解和控制晶圓表面的溫度至關(guān)重要。
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RTD Wafer 晶圓有線(xiàn)測溫系統
儀表化晶圓(熱電偶或RTD)適用于半導體加工設備,在這些設備中,了解和控制晶圓表面的溫度至關(guān)重要。
RTD Wafer 晶圓有線(xiàn)測溫系統
測溫范圍:-40℃至250℃
電阻器:薄膜鉑
電阻:0°C時(shí)標稱(chēng)電阻值為1000 Q
精度:±0.1℃
測溫點(diǎn)數:1~68個(gè)
傳感器引線(xiàn):可定制
可提供絕緣:聚酰亞胺涂覆的銅引線(xiàn)
測溫探頭接口:DB37
晶圓材質(zhì):硅片,藍寶石,碳化硅等(基材形狀和尺寸可定制)
晶圓尺寸:50mm,100mm,150mm,200mm,300mm
真空貫通帶:聚酰亞胺扁平電纜,大氣壓可達10-7Torr(長(cháng)度由客戶(hù)定)